史上最全的半导体材料工艺设备汇总

史上最全的半导体材料工艺设备汇总（共3篇）

篇1：史上最全的半导体材料工艺设备汇总

小编为您解读半导体生产过程中的主要设备概况。

1、单晶炉

设备名称：单晶炉。

设备功能：熔融半导体材料，拉单晶，为后续半导体器件制造，提供单晶体的半导体晶坯。主要企业（品牌）：

国际：德国PVA TePla AG公司、日本Ferrotec公司、美国QUANTUM DESIGN公司、德国Gero公司、美国KAYEX公司。

国内：北京京运通、七星华创、北京京仪世纪、河北晶龙阳光、西安理工晶科、常州华盛天龙、上海汉虹、西安华德、中国电子科技集团第四十八所、上海申和热磁、上虞晶盛、晋江耐特克、宁夏晶阳、常州江南、合肥科晶材料技术有限公司、沈阳科仪公司。

2、气相外延炉

设备名称：气相外延炉。

设备功能：为气相外延生长提供特定的工艺环境，实现在单晶上，生长与单晶晶相具有对应关系的薄层晶体，为单晶沉底实现功能化做基础准备。气相外延即化学气相沉积的一种特殊工艺，其生长薄层的晶体结构是单晶衬底的延续，而且与衬底的晶向保持对应的关系。主要企业（品牌）：

国际：美国CVD Equipment公司、美国GT公司、法国Soitec公司、法国AS公司、美国ProtoFlex公司、美国科特·莱思科（Kurt J.Lesker）公司、美国Applied Materials公司。

国内：中国电子科技集团第四十八所、青岛赛瑞达、合肥科晶材料技术有限公司、北京金盛微纳、济南力冠电子科技有限公司。

3、分子束外延系统（MBE，Molecular Beam Epitaxy System）

设备名称：分子束外延系统。

设备功能：分子束外延系统，提供在沉底表面按特定生长薄膜的工艺设备；分子束外延工艺，是一种制备单晶薄膜的技术，它是在适当的衬底与合适的条件下，沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜。主要企业（品牌）：

国际：法国Riber公司、美国Veeco公司、芬兰DCA Instruments公司、美国SVTAssociates公司、美国NBM公司、德国Omicron公司、德国MBE-Komponenten公司、英国Oxford Applied Research（OAR）公司。国内：沈阳中科仪器、北京汇德信科技有限公司、绍兴匡泰仪器设备有限公司、沈阳科友真空技术有限公司。

4、氧化炉（VDF）

设备名称：氧化炉。

设备功能：为半导体材料进行氧化处理，提供要求的氧化氛围，实现半导体预期设计的氧化处理过程，是半导体加工过程的不可缺少的一个环节。主要企业（品牌）：

国际：英国Thermco公司、德国Centrothermthermal solutions GmbH Co.KG公司。

国内：北京七星华创、青岛福润德、中国电子科技集团第四十八所、青岛旭光仪表设备有限公司、中国电子科技集团第四十五所。

5、低压化学气相淀积系统（LPCVD，Low Pressure Chemical Vapor Deposition System）

设备名称：低压化学气相淀积系统

设备功能：把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入LPCVD设备的反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜。主要企业（品牌）：

国际：日本日立国际电气公司、国内：上海驰舰半导体科技有限公司、中国电子科技集团第四十八所、中国电子科技集团第四十五所、北京仪器厂、上海机械厂。

6、等离子体增强化学气相淀积系统（PECVD，Plasma Enhanced CVD）

设备名称：等离子体增强化学气相淀积系统

设备功能：在沉积室利用辉光放电，使其电离后在衬底上进行化学反应，沉积半导体薄膜材料。主要企业（品牌）：

国际：美国Proto Flex公司、日本Tokki公司、日本岛津公司、美国泛林半导体（Lam Research）公司、荷兰ASM国际公司。

国内：中国电子科技集团第四十五所、北京仪器厂、上海机械厂。

7、磁控溅射台（MagnetronSputter Apparatus）

设备名称：磁控溅射台。

设备功能：通过二极溅射中一个平行于靶表面的封闭磁场，和靶表面上形成的正交电磁场，把二次电子束缚在靶表面特定区域，实现高离子密度和高能量的电离，把靶原子或分子高速率溅射沉积在基片上形成薄膜。

主要企业（品牌）：

国际：美国PVD公司、美国Vaportech公司、美国AMAT公司、荷兰Hauzer公司、英国Teer公司、瑞士Platit公司、瑞士Balzers公司、德国Cemecon公司。

国内：北京仪器厂、沈阳中科仪器、成都南光实业股份有限公司、中国电子科技集团第四十八所、科睿设备有限公司、上海机械厂。

8、化学机械抛光机（CMP，Chemical Mechanical Planarization）

设备名称：化学机械抛光机

设备功能：通过机械研磨和化学液体溶解“腐蚀”的综合作用，对被研磨体（半导体）进行研磨抛光。主要企业（品牌）：

国际：美国Applied Materials公司、美国诺发系统公司、美国Rtec公司、。国内：兰州兰新高科技产业股份有限公司、爱立特微电子。

9、光刻机（Stepper，Scanner）

设备名称：光刻机。

设备功能：在半导体基材上（硅片）表面匀胶，将掩模版上的图形转移光刻胶上，把器件或电路结构临时“复制”到硅片上。主要企业（品牌）： 国际：荷兰阿斯麦（ASML）公司、美国泛林半导体公司、日本尼康公司、日本Canon公司、美国ABM公司、德国德国SUSS公司、美国MYCRO公司。

国内：中国电子科技集团第四十八所、中国电子科技集团第四十五所、上海机械厂、成都南光实业股份有限公司。

10、反应离子刻蚀系统（RIE，Reactive Ion Etch System）

设备名称：反应离子刻蚀系统。

设备功能：。平板电极间施加高频电压，产生数百微米厚的离子层，放入式样，离子高速撞击式样，实现化学反应刻蚀和物理撞击，实现半导体的加工成型。主要企业（品牌）：

国际：日本Evatech公司、美国NANOMASTER公司、新加坡REC公司、韩国JuSung公司、韩国TES公司。国内：北京仪器厂、北京七星华创电子有限公司、成都南光实业股份有限公司、中国电子科技集团第四十八所。

11、ICP等离子体刻蚀系统（ICP, Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching System）

设备名称：ICP等离子体刻蚀系统。

设备功能：一种或多种气体原子或分子混合于反应腔室中，在外部能量作用下（如射频、微波等）形成等离子体，一方面等离子体中的活性基团与待刻蚀表面材料发生化学反应，生成可挥发产物；另一方面等离子体中的离子在偏压的作用下被引导和加速，实现对待刻蚀表面进行定向的腐蚀和加速腐蚀。主要企业（品牌）：

国际：英国牛津仪器公司、美国Torr公司、美国Gatan公司、英国Quorum公司、美国利曼公司、美国Pelco公司。

国内：北京仪器厂、北京七星华创电子有限公司、中国电子科技集团第四十八所、戈德尔等离子科技（香港）控股有限公司、中国科学院微电子研究所、北方微电子、北京东方中科集成科技股份有限公司、北京创世威纳科技。

12、离子注入机（IBI，Ion Beam Implanting）

设备名称：离子注入机。

设备功能：对半导体表面附近区域进行掺杂。主要企业（品牌）：

国际：美国维利安半导体设备公司、美国CHA公司、美国AMAT公司、Varian半导体制造设备公司（被AMAT收购）。

国内：北京仪器厂、中国电子科技集团第四十八所、成都南光实业股份有限公司、沈阳方基轻工机械有限公司、上海硅拓微电子有限公司。

13、探针测试台（VPT，Wafer prober Test）

设备名称：探针测试台。

设备功能：通过探针与半导体器件的pad接触，进行电学测试，检测半导体的性能指标是否符合设计性能要求。

主要企业（品牌）：

国际：德国Ingun公司、美国QA公司、美国MicroXact公司、韩国Ecopia公司、韩国Leeno公司。国内：中国电子科技集团第四十五所、北京七星华创电子有限公司、瑞柯仪器、华荣集团、深圳市森美协尔科技。

14、晶片减薄机（Back-sideGrinding）

设备名称：晶片减薄机。

设备功能：通过抛磨，把晶片厚度减薄。主要企业（品牌）：

国际：日本DISCO公司、德国G&N公司、日本OKAMOTO公司、以色列Camtek公司。

国内：兰州兰新高科技产业股份有限公司、深圳方达研磨设备制造有限公司、深圳市金实力精密研磨机器制造有限公司、炜安达研磨设备有限公司、深圳市华年风科技有限公司。

15、晶圆划片机（DS，Die Sawwing）

设备名称：晶圆划片机。

设备功能：把晶圆，切割成小片的Die。主要企业（品牌）：

国际：德国OEG公司、日本DISCO公司。

国内：中国电子科技集团第四十五所、北京科创源光电技术有限公司、沈阳仪器仪表工艺研究所、西北机器有限公司（原国营西北机械厂709厂）、汇盛电子电子机械设备公司、兰州兰新高科技产业股份有限公司、大族激光、深圳市红宝石激光设备有限公司、武汉三工、珠海莱联光电、珠海粤茂科技。

16、引线键合机（Wire Bonder）

设备名称：引线键合机。

设备功能：把半导体芯片上的Pad与管脚上的Pad，用导电金属线（金丝）链接起来。主要企业（品牌）：

国际：美国奥泰公司、德国TPT公司、奥地利奥地利FK公司、马来西亚友尼森（UNISEM）公司。

国内：中国电子科技集团第四十五所、北京创世杰科技发展有限公司、宇芯（成都）集成电路封装测试有限公司（马来西亚友尼森投资）、深圳市开玖自动化设备有限公司。

篇2：史上最全的半导体材料工艺设备汇总

四大名著之《三国演义》常考知识点汇总：

1、《三国演义》中忠义的化身是关羽，我们所熟知的他忠、义、勇、谋、傲的事情分别有：千里走单骑、华容道义释曹操、过五关斩六将、水淹七军、败走麦城。

2、《三国演义》中智者的化身当属军师诸葛亮，他未出茅庐，便知天下三分之事，书中记叙了有关他的许多脍炙人口的事迹，如火烧赤壁、七擒孟获、六出祁山、空城计、挥泪斩马谡等。

3、《三国演义》中桃园三结义的三弟兄分别是使用双股锏的刘备，使青龙偃月刀的关羽和使丈八蛇矛枪的张飞。

4、“滚滚长江东逝水，浪花淘尽英雄。是非成败转头空。青山依旧在，几度夕阳红„„”这是我国古典文学名著《三国演义》的开篇词。

5、写出两个与“三国”故事有关的成语或俗语：三顾茅庐、万事俱备，只欠东分。

6、诸葛亮是《三国演义》中的主要人物，请写出小说中有关诸葛亮的两个故事的名称。例如：草船借箭，舌战群儒，空城计。

7、填人名，补足歇后语。

(1)(诸葛亮)借东风——巧用天时(2)(刘备)借荆州——有借无还

(3)(徐庶)进曹营——一言不发(4)(周瑜)打(黄盖)——一个愿打,一个愿挨，(5)三个臭皮匠——顶个(诸葛亮)(比喻人多智慧多，有事情大家商量，能想出好办法来)

8、杜牧《赤壁》诗中“东风不与周郎便，铜雀春深锁二乔”的句子写的战役是赤壁之战。涉及到的两个主要人物周瑜、曹操。

9、成语“万事俱备，只欠东风”是根据《三国演义》赤壁之战(战役)中”周瑜定计火攻曹操”的故事演化而来的。请再写出源于《三国演义》的两个成语，并写出相应的人物及故事。成语：三顾茅庐 人物及故事：刘备三请诸葛亮。成语：身在曹营心在汉 人物及故事：徐庶人在曹营，不献一策。

10、① 三顾频频天下计，两朝开济老臣心。——诸葛亮② 出师未捷身先死，长使英雄泪满襟。——诸葛亮③ 出师一表真名世，千载谁堪伯仲间。——诸葛亮④ 已知天下三分鼎，犹竭人谋就出师。——诸葛亮

11、结合《三国演义》，说出诸葛亮与周瑜联手指挥的一场著名的以少胜多的战例，是赤壁之战;再说出诸葛亮挥泪斩马谡是因为失街亭一事。

12、请用下列两部古典名著人物的姓名或官名补全下面的回目。(1)林教头 风雪山神庙 陆虞侯火烧草料场(《水浒传》)(2)曹操 煮酒论英雄 关公赚城斩车胄(《三国演义》)

13、请结合《三国演义》，说出诸葛亮与周瑜联手指挥的一场著名的以少胜多的战役，是(赤壁之战);再说出诸葛亮挥泪斩马谡是因为(失街亭)一事。

14、《三国演义》中蜀国的军师诸葛亮是位家喻户晓的人物，他上知天文，下知地理，成了智慧的代表。在我国四大古典名著中，还有一位作品也塑造了一位足智多谋的军事家的形象，这个人是(吴用)，这部作品是《水浒传 》。

15、《三国演义》中塑造了一位过五关斩六将、千里走单骑的英雄形象，这个英雄是(关羽).这部书中有关这个英雄的传奇故事还有很多，请用最简洁的语言写出一个故事的名称：大意失荆州(温酒斩华雄)

16、“勉从虎穴暂栖身，说破英雄惊煞人，巧将闻雷作掩饰，随机应变信如神。”这首诗说的是《三国演义》中刘备和曹操的一段故事。这个故事是青梅煮酒论英雄。

17、诸葛亮是《三国演义》中的重要人物，请说出小说中有关诸葛亮的两个故事名称。例：舌战群儒、草船借箭、空城计、七擒七纵等。

18、下面的一副对联概括了诸葛亮一生的功绩。参考示例，从列出的六项中任意选出两项，写出具体所指。

收二川，排八阵，六出七擒，五丈原前，点四十九盏明灯，一心只为酬三顾;取西蜀，定南蛮，东和北拒，中军帐里，变金木土爻神卦，水面偏能用火攻。示例：三顾——三顾茅庐

六出： 东和: 收二川： 七擒： 北拒： 排八阵：

六出祈山、东和孙吴、收取东川西川、七擒孟获、北拒曹魏、摆设八阵图。

19、“滚滚长江东逝水，浪淘尽英雄。是非成败转头空。青山依旧在，几度夕阳红。”这是我国古典名著《 三国演义 》的开篇词。

20、“天下三分”是指天下分裂为魏、蜀、吴三国。

21、《曹操煮酒论英雄》节选自我国第一部长篇 章回 体小说《三国演义》。

22、“夫英雄者，胸有大志，腹有良谋，有包藏宇宙之机，吞吐天地之志者也。”这段关于“英雄”的见解出自我国古典文学名著《三国演义》中的(曹操)(人名)之口。

23、成语“万事俱备，只欠东风”是根据《三国演义》 赤壁之战(战役)中“周瑜定计火攻曹操”的故事演化而来的。

24、对对联。上联：足智多谋，孔明巧借箭。

下联：(1)艺高胆大，悟空勇斗魔。(2)义盖云天，关羽私放曹。(3)多愁善感，黛玉悲葬花。

25、《三国演义》中忠义的化身是关羽，我们所熟知的他忠、义、勇、谋、傲的事情分别有：千里走单骑、华容道义释曹操、过五关斩六将、水淹七军、败走麦城。

26、《三国演义》中智者的化身当属军师诸葛亮，他未出茅庐，便知天下三分之事，书中记叙了有关他的许多脍炙人口的事迹，如火烧赤壁、七擒孟获、六出祁山、空城计、挥泪斩马谡等。

27、《三国演义》中桃园三结义的三弟兄分别是使用双股锏的刘备，使青龙偃月刀的关羽和使丈八蛇矛枪的张飞。

28、“滚滚长江东逝水，浪花淘尽英雄。是非成败转头空。青山依旧在，几度夕阳红„„”这是我国古典文学名著《三国演义》的开篇词。

29、写出两个与“三国”故事有关的成语或俗语：三顾茅庐、万事俱备，只欠东风。30、诸葛亮是《三国演义》中的主要人物，请写出小说中有关诸葛亮的两个故事的名称。例如：草船借箭，舌战群儒，空城计。

31、填人名，补足歇后语。(1)(诸葛亮)借东风——巧用天时(2)(刘备)借荆州——有借无还(3)(徐庶)进曹营——一言不发(4)(周瑜)打(黄盖)——一个愿打,一个愿挨，(5)三个臭皮匠——顶个(诸葛亮)(比喻人多智慧多，有事情大家商量，能想出好办法来)

32、杜牧《赤壁》诗中“东风不与周郎便，铜雀春深锁二乔”的句子写的战役是赤壁之战。涉及到的两个主要人物周瑜、曹操。

33、成语“万事俱备，只欠东风”是根据《三国演义》赤壁之战(战役)中”周瑜定计火攻曹操”的故事演化而来的。请再写出源于《三国演义》的两个成语，并写出相应的人物及故事。成语：三顾茅庐 人物及故事：刘备三请诸葛亮。成语：身在曹营心在汉 人物及故事：徐庶人在曹营，不献一策。

34、《三国演义》中忠义的化身是关羽，我们所熟知的他忠、义、勇、谋、傲的事情分别有：千里走单骑、华容道义释曹操、过五关斩六将、水淹七军、败走麦城。

35、《三国演义》中智者的化身当属军师诸葛亮，他未出茅庐，便知天下三分之事，书中记叙了有关他的许多脍炙人口的事迹，如火烧赤壁、七擒孟获、六出祁山、空城计智退司马懿、挥泪斩马谡等。

36、《三国演义》中桃园三结义的三弟兄分别是双股剑的刘备，使丈八蛇矛枪的张飞和使青龙偃月刀的关羽。

37、写出两个与“三国”故事有关的成语或俗语：三顾茅庐、万事俱备，只欠东风。

38、诸葛亮是《三国演义》中的主要人物，请写出小说中有关诸葛亮的两个故事的名称。例如：舌战群儒，草船借箭，空城计。

39、成语“万事俱备，只欠东风”是根据《三国演义》(战役)中“周瑜定计火攻曹操”的故事深化而来的。

40、“勉从虎穴暂栖身，说破英雄惊煞人。巧将闻雷来掩饰，随机应变信如神。”这首诗说的是《三国演义》中刘备和曹操的一段故事。这个故事是。煮酒论英雄

41、桃园三结义是哪三个人?关羽 刘备 张飞

42、“话说天下大势，分久必合，合久必分„„”这句话出自《三国演义》，作者是罗贯中。

43、四大名著中可称为“龙争虎斗”是哪一部------《三国演义》

44、“三顾茅庐”出自哪一部名著?《三国演义》

45、《三国演义》中的三个国家及其君主分别指的是(魏曹操.蜀刘备.吴孙权

46、《三国演义》中桃园三结义的三弟兄分别是?(刘备.关羽.张飞)

47、下列哪一个不是《三国演义》中的人物? A曹孟德 B晁盖 C关云长

48、成语“万事俱备，只欠东风”是根据《三国演义》中的什么战役的故事演化而来的-----赤壁之战

49、《三国演义》塑造了一个过五关斩六将.千里走单骑的英雄形象，这个英雄是关羽。

50、《三国演义》中“煮酒论英雄”的主要人物是 曹操。

51、歇后语“周瑜打黄盖--一个愿打，一个愿挨”是从哪部作品中演绎出来的?

52、《三国演义》《三国演义》中塑造出了一系列栩栩如生的人物形象，“古往今来奸雄第一奇才”是;“古往今来贤相中第一奇人”是。(曹操、诸葛亮)

53、“出师一表真名世，千载谁堪伯仲间”。诗句中的描写的人物是谁--诸葛亮

54、《三国演义》中舌战群儒的人物是----------诸葛亮

55、《三国演义》中的“凤雏”是指谁--------庞统

56、“话说天下大势，合久必分，分久必合”出自四大名著中的哪一部?--------《三国演义》

三国演义常考知识点汇总，就给大家归纳这么多啦。大家可以做一做三国演义的题目，可以好好的增加自己对于三国演义的了解哦

一、练习题

1、《三国演义》的开篇词是（“滚滚长江东逝水，浪花淘尽英雄。是非成败转头空。青山依旧在，几度夕阳红。）

2、“义”是《三国演义》的思想精髓和灵魂。

3、《三国演义》中主要人物中被称“三绝”的分别是：“奸绝”是曹操，“智绝”是诸葛亮，“义绝”是关羽。

4、在《三国演义》中有一位英雄，他曾温酒斩华雄、千里走单骑、刮骨疗毒，被后人敬仰并尊为中国的“武圣”，这位英雄是关羽。

5、请结合《三国演义》。说出诸葛亮与周瑜联手指挥的一场著名的以少胜多地战例，是赤壁之战；再说诸葛亮挥泪斩马谡是因为失街亭一事。

6、《三国演义》中有这样两段话：“譬犹驽马并麒麟，寒鸦配鸾凤耳”，“无异周得吕望，汉得张良”，说此话者是徐庶，被赞誉的人是诸葛亮。

7、下面描写的人物是谁？用两三个词概括其主要性格特点。

纶巾羽扇，身衣鹤氅，素履皂绦，面如冠玉，唇若抹朱，眉清目朗，身长八尺，飘飘然有神仙之概。人物：诸葛亮，性格特点：足智多谋、忠心耿耿

8、“独行千里报主之志坚，义释华容酬恩之谊重”，称赞的是何人？所报答的”主”指谁？”义释”的是谁？（关羽、刘备、曹操）

9、“勉从虎穴暂栖身，说破英雄惊煞人。巧将闻雷来掩饰，随机应变信如神。”这首诗说的是《三国演义》中刘备和曹操的一段故事。这个故事是青梅煮酒

10、成语“万事俱备，只欠东风”是根据《三国演义》赤壁之战（战役）中”周瑜定计火攻曹操”的故事演化而来的。请再写出源于《三国演义》的两个成语，并写出相应的人物及故事。（三顾茅庐，刘备三请诸葛亮；身在曹营心在汉，徐庶人在曹营不献一策等）

11、写出《三国演义》中与诸葛亮、司马懿父子有关的4个成语或典故。

鞠躬尽瘁，死而后已；三顾茅庐；空城计；借东风；司马昭之心，路人皆知。

12、同一事物往往有多方面的特征，从不同角度可以有不同的评价。请你运用比喻的修辞手法，从褒和贬两个角度，各写一句话，对我国三国时期的人物——曹操进行评价。

褒：雄才大略的曹操，犹如一颗耀眼的明星，高悬在三国的政治天宇中。

贬：曹操为人奸诈如狐，打着天子的旗号，干着算计诸侯的勾当。

13、表现诸葛亮“鞠躬尽瘁，死而后已”精神的六出祁山、七擒孟获、前后出师表、忠辅刘禅。

14、杜牧《赤壁》诗中：“东风不与周郎便，铜雀春深锁二乔”写的是哪一场战役？涉及的两个主要人物是谁？(赤壁之战；曹操、周瑜)

15、《三国演义》中“温酒斩华雄”、“三英战吕布”、“过五关斩六将”、“单刀赴会”、“水淹七军”等一系列可歌可泣的英雄是关羽。

16、请根据提供的信息，分别说出对应的人物或作品。

示例：潇湘馆

丫环紫鹃

葬花 《红楼梦》

人物：林黛玉

赤兔马

单刀赴会

败走麦城 《三国演义》

人物：关羽

17、《三国演义》中哪两位人物青梅煮酒论英雄,他们各自的内心是怎样?（曹操：故意试探刘备）

18、长江东逝水，浪花淘尽英雄。是非成败转头空：青山依旧在，几度夕阳红。”这是我国哪一部古典文学名著的开篇词?作者是谁?你喜欢作品中的哪个人物? 答：《三国演义》

罗贯中

略

19、我国古典文学名著(三国演义)中塑造了一个过五关、斩六将、千里走单骑的英雄形象，这个英雄是（关羽；如走麦城、水淹七军、温酒斩华雄、桃园三结义等）

20.“出师未捷身先死，长使英雄泪满襟”，对联中提到的人物是（诸葛亮）

21、虽然是曹操的谋士，但一生未献一计的是徐庶。

22.“义释严颜”的人物是（张飞）“智取瓦口隘”的人物是（张飞）“拔箭啖睛”的人物是（夏侯惇）“火烧连营七百里”的人物是（陆逊）

23.奠定三国鼎立格局的基础的战役是赤壁之战。

24.关羽温酒斩华雄的故事中，命令为关羽斟酒的是（曹操）。

25、三国中有很多人物都有绰号，如“水镜先生”是司马徽；“卧龙”是诸葛亮；“凤雏”是庞统；“小霸王”是孙策；“美髯公”是关羽；“常胜将军”是赵云。

26、曹操曾两次梦见“三马同曹”，前三马是指马腾、马超、马岱；后三马是指司马懿、司马师、司马昭。

27、三国中的人物被塑造得栩栩如生，其中有些人物已成为不朽的典型，好像还活在人群中，所以人们常把有智慧的人赞为诸葛亮；把奸诈的人骂做曹操；把量窄的人谓为周瑜；把性烈的人叫作张飞；把忠厚的人称为鲁肃；把昏庸的人说是刘禅。

28、三国中有两匹千里马赤兔马、的卢；最后的主人分别是关羽、刘备。

29、与赤壁之战有关的事件有草船借箭、蒋干盗书、借东风、苦肉计、连环计。

30、《三国演义》中素有“千古奇策”之称的是隆中对。

31、孔明笑曰：“士元非百里之才，胸中之学，胜亮十倍。”士元指的是庞统，他冠以凤雏之称，与他有关的一个故事是庞统巧设连环计。

32、《三国演义》中，为救阿斗在长坂坡杀了魏军七进七出的将军是赵云，长坂坡头退曹军百万兵的将军是张飞，使曹操割须弃袍的将军是马超。

32、《三国演义》中最能体现“宝贵不能淫，威武不能屈”的英雄人物是关羽。

33、“欲破曹公，宜用火攻，万事俱备，只欠东风”，是诸葛亮写给周瑜的信中的内容。

34、刘备在长坂坡时说：“子龙从我于患难，心如铁石非宝贵所能动摇也。”这里的子龙指的是赵云。

35、“三英战吕布”中的三英指的是刘备、关羽、张飞。

36、“三国”指哪三国，各国的领袖分别魏、蜀、吴；曹丕、刘备、孙权。

37、关羽斩颜良、诛文丑的目的是 为报曹操之恩。

38、“鸡肋”的故事源自 《三国演义》，故事中涉及两个人物是杨修和曹操。

39、从《三国演义》的描写来看，诸葛亮出山后三次用火的战役分别是火烧博望坡、火烧新野、火烧赤壁，这就衍生了一个俗语新官上任三把火。

40、“血染征袍透甲红，当阳谁敢与争锋？古来冲阵扶危主，只有常山赵子龙”。请用简洁的语言概述上面诗句所表现的故事情节：赵子龙在长坂坡 为了救刘禅杀了七进七出最终救出刘禅。

41、《三国演义》中以弱胜强的两次著名战役是官渡之战和赤壁之战。

42、玄德曰：“曹操多谋，汝不合拆断桥梁，彼必追至矣”。这句话是刘备对张飞说的，来源于故事张翼德大闹长坂坡。反映的人物性格特点是粗中有细。

43、“持矛举火破连营，玄德穷奔白帝城。一旦威名惊蜀魂，吴王宁不敬书生”。被赞之人是陆逊，他因在猇亭战役中击败刘备而名声大震。

44、《三国演义》中最主要的三大战役是官渡之战、赤壁之战、猇亭之战。

45、《三国演义》中蜀国的五虎将是指 关羽、张飞、马超、赵云、黄忠。

46、《三国演义》中“白衣渡江”一般讲的是吕蒙奇袭荆州的故事。

47、请说出《三国演义》中和下列数字有关的故事情节。单：千里走单骑

三：三顾茅庐

五：过五关斩六将

六：六出祁山

七：七擒孟获

八：诸葛亮排八阵图。

48、《三国演义》中有这样一段话：“今天下英雄，惟使君与操耳。”玄德闻言，吃了一惊，手中所持匙箸，不觉落于地下。时正直大雨将至，雨声大作。玄德乃从容俯首拾箸曰：“一震之威，乃至于此。”这段话描述的故事是青梅煮酒论英雄。你对曹操的评价是奸雄。你对刘备的评价是随机应变，是英雄。

49、“丹凤眼，卧蚕眉，面如重枣，青龙偃月刀”这一肖像描写写的是关羽，他的主要性格特点是：重义气，知恩图报，威武不屈，富贵不淫，居功自傲，刚愎自用。

50、“无由抚慰忠臣意，故把亲儿掷马前。”人物是刘备。

51、“功盖三分国，名成八阵图”指的是诸葛亮。

52、“追欢作乐笑颜开，不念危亡半点哀”指的是三国中蜀国 国的君主刘禅，有句诗可以概括为成语乐不思蜀。

53、“空余赤兔马千里，漫有方天戟一枝”，这句诗所指的人物是吕布。

54、“三姓家奴休走，燕人张飞在此!”中三姓家奴说是的吕布。

55、死于落凤坡的是汉军著名谋士庞统，死于麦城的是关羽，死于白帝城的是刘备，死于五丈原的是诸葛亮，死于阆中的是张飞。

56、“常山有虎将，智勇匹关张”指的是赵云。

57、《三国演义》中以“三”开头的故事有三顾茅庐、三气周瑜、三英战吕布。

58、“马骑赤兔行千里，刀偃青龙出五关”所指人物是关羽。

59、在华容道上“三笑一哭”的是曹操，从这一情节可以看出他的性格特点是诡计多端。

60、最初向刘备推荐诸葛亮的人物是司马徽，后来徐庶又再度向刘备推荐。

61、“挂印封金辞汉相，寻兄遥望远途还”写的人物是关羽，“汉相”指的是曹操，所寻之“兄”是刘备。

62、表现诸葛亮“智绝”的事例有：草船借箭、空城计、三气周瑜、借东风。

63、表现关羽“义绝”的事例有 挂印封金、败走麦城、过关斩将、华容道释曹操、千里走单骑。

64、表现曹操“奸绝”的事例有杀吕伯奢、梦中杀人。

65、最能体现诸葛亮赏罚分明的情节是诸葛亮挥泪斩马谡。

66、“空城计”主要体现了诸葛亮以下的性格特点：足智多谋，出其不意，攻其不备，神机妙算，善于揣测别人心理。

67、“智取瓦口隘”体现了张飞粗中有细的性格特点。

68、“宁教我负天下人，休教天下人负我”是曹操所说，从杀吕伯奢全家、徐州屠城、梦中杀人等事例中可看出其残忍、奸诈的性格特点。

二、阅读指导

教学目标:掌握有关战争、人物、成语等故事的情节

一、主要的故事情节

（一）简述《三国演义》中一次有名的战役。

例一：官渡之战

北方曹操势力壮大令袁绍不安，故举兵进攻许昌，两军对垒官渡。曹操兵弱粮少，但将士用命；袁军兵强粮足，但军心涣散，且绍优柔寡断而多疑，不用许攸之计。许攸转而投靠曹操，操用许攸计策，亲自带兵夜袭乌巢，烧毁了袁军的粮草，袁军全面溃败。（见《三国演义》第30回）

例二：赤壁之战

曹操率军八十万取荆州后，虎视江东。为抗衡曹操，孙刘联盟，委任周瑜督军五万，与曹军对峙赤壁。联军依据长江天险，并通过“反间”制乱，“苦肉”诈降，计设“连环”，巧“借”东风，最终一把大火把曹军战舰为灰烬。（见《三国演义》第48、49回）

例三：彝陵之战（火烧连营）

为替关羽报仇，刘备挥军攻打东吴，连连告捷。孙权命陆逊总督东吴军马，陆以静制动，等待破蜀良机。由于天热难耐，刘备让蜀兵避暑林中，陆趁机调动各路军马火烧蜀军营寨七百里，刘备损兵折将，全面溃败，幸亏赵云救驾，才逃到白帝城。

例四：关羽大意失荆州

曹操联结东吴，叫孙权暗袭荆州。但关羽为防吕蒙，留下重兵把守荆州使东吴无可奈何，后来，吕蒙采用陆逊之计，辞职麻痹关羽，关羽果然中计，把荆州重兵调来攻打樊城。吕蒙趁机用白衣渡江之计攻破荆州，关羽被迫走麦城，被吴军俘虏并杀害。（见《三国演义》第76、77回）

例五：马谡失街亭

为阻挡司马懿大军出关，诸葛亮派人把守街亭，马谡自告奋勇请战，并立下军令状。却因骄傲自大，听不进王平建议，又违背了孔明的嘱咐，把当路驻扎改成了在山顶驻扎。结果被司马懿断了水道，致使军心大乱，大败而回，被孔明依军令状斩首。（见《三国演义》第95、96回）

例六：关羽温酒斩华雄。

董卓把持朝政，凶狠专横。各路诸侯集结讨伐董卓贼。董卓派华雄迎战，连杀数将。关羽立下军令状，愿去斩华雄的首级。出征前，曹操敬关羽一杯热酒，关羽说：“酒且斟下，我去便来。”便拍马出阵。当他提华雄人头进帐时，那杯酒还微微烫手。（见《三国演义》第5回）

例七：七擒孟获

为重兴汉室，诸葛亮点兵南征，与南蛮首领孟获斗智斗勇，先后用反间计诈降计等擒住孟获，前六次诸葛亮都故意放走孟获。到了第七次，诸葛亮智破乌戈国藤甲兵，终于使其心悦诚服，南蛮于是安定，使蜀汉朝廷得以集中力量去对付曹魏政权。（《三国演义》第87－90回）

（二）简述《三国演义》中一次以弱胜强的战役。

例一：官渡之战

例二：赤壁之战

（三）简述《三国演义》中一次骄兵致败的战役。

例五：马谡失街亭之战

例六：关羽大意失荆州之战

（四）简述《三国演义》中的一个智谋故事（几次主要的计策）

例一：“草船借箭”

周瑜妒忌诸葛亮之才，便以联军用箭为名，要求诸葛亮在十天内赶造十万支箭。亮立下军令状保证三天完成任务。后诸葛亮在鲁肃的配合下，利用大雾天气的掩护，以草船靠近曹军水寨，擂鼓呐喊，骗得曹军乱箭齐发，最终获得超过十万支的箭。（见《三国演义》第46回）

例二：“空城计”

诸葛亮错用马谡，失去街亭后，只有2500 名军士驻守在西城县。司马懿率领15万军队往西城蜂拥而来。诸葛亮立即传令将旌旗隐藏，大开四个城门，每个城门用20 个军士，扮为百姓，打扫街道。他自己披鹤氅，戴纶巾，引两个少年携琴于城上，焚香操琴演奏。司马懿见此情景，以为有埋伏，便退了兵。（见《三国演义》第95回）

例三：“反间计”

赤壁之战前，蒋干自告奋勇去劝说周瑜投降。此时，周瑜正担心新降曹操的蔡瑁和张允帮助曹操训练好水军，于是就将计就计，摆下“群英会”接待蒋干，并佯醉与蒋干同床睡，诱导蒋干盗走事先伪造的张、蔡二人的“投降书”，导致蔡瑁和张允被杀。

例四：“苦肉计”

东吴老将黄盖为了周瑜火攻曹营成功，便和周瑜密谋诈降，为使曹操相信，两人故意在曹操奸细蔡中、蔡和面前为战、降问题争吵，而后周瑜痛打黄盖，打得黄盖皮开肉绽，几次昏倒。最后，黄盖诈降得到曹操信任，帮助周瑜取得了赤壁之战的胜利。

（五）简述《三国演义》中的一个外交故事。

例一：“诸葛亮舌战群儒”

在曹操拥兵南下的危急关头，诸葛亮自请出使东吴促成孙刘联盟，共同抗曹。在东吴的朝堂上，诸葛亮沉着冷静，通过分析天下形势，分析敌我军事实力，以雄辩的口才舌战群儒，有力批驳了东吴儒生的“降曹”论，并最终智激孙权周瑜，促成了孙刘联合抗曹的统一战线。（《三国演义》第43回）

例二：单刀赴会

鲁肃在陆口临江亭宴请关羽，索要荆州，如其不从，便欲杀之。关羽明知是计，却独驾小舟，只用亲随十余人，单刀赴会。席间关羽谈笑自若，巧辞拒绝鲁肃的要求。最后佯推酒醉，右手提大刀，左手挽鲁肃，直至江边才放手道别。鲁肃被吓得魂不附体，东吴伏兵亦不敢妄动。（《三国演义》第66回）

（六）简述一下《三国演义》中一个与“荆州”有关的故事。

例一：“刘备借荆州”

赤壁战后，周瑜坐镇荆州，刘备驻守公安，公安地小物薄，不利于发展，于是刘备向孙权两次提出借荆州。孙权采纳周瑜的建议，不借荆州。后周瑜病故，鲁肃继任。鲁肃从吴蜀联盟以抗曹操的战略考虑，劝说孙权暂借荆州。刘备借得荆州后，即以之为立足点，北抗曹操，西取益州，建立蜀汉政权。

例二：关羽大意失荆州。

例三：单刀赴会

二、主要的人物形象

（一）简述一个体现刘备“仁德”的故事。

例一：“治理新野”

刘备受命屯驻新野长达七年之久，在此期间，刘备对自己的政治生涯进行了认真的反思，并接受“水镜先生”的批评，更重视争取民心，为重新崛起准备条件。他以安民为务，因此“军民皆喜，政治一新。”新野百姓盛赞其仁德。（第34－35回）

例二：“携民渡江”

曹操亲率大军南征荆州，刘备被迫向襄阳撤退，新野、樊城十几万百姓随其同行。众人劝刘备弃民先行，刘备不肯，沿途收留难民，扶老携幼，以至一天只走了十几里路，如此撤退，显然有违于“兵贵神速”的军事原则，便却使刘备赢得了民心。（见《三国演义》第41回）

例三：对待徐庶

徐庶得知母亲被曹操囚禁，遂辞别刘备，孔融建议刘备强留徐庶，刘备不肯，而是顾全徐庶

母子之情，忍痛应允。分别时，刘备又亲送徐庶出城，置酒饯行，不忍相离，甚至要“尽伐树林”，以免阻挡“望徐元直之目”。（见《三国演义》第36回）

例四:陶谦三让徐州

徐州被曹操困围，孔融劝刘备去解围，刘备揩部下同救，当他们到徐州时，陶谦便欲让徐州给刘备，刘备不肯接受；刘备修书退曹兵后，陶谦在孔融等面前再让徐州给刘备，连云长和张飞都心动，陶谦最后让小沛以保徐州；后来,陶谦病危再让,病故后,在民众拥戴下,刘备才接受徐州牧。

（二）简述一个体现关羽“忠义”的故事。

例一：“千里走单骑”

曹操率军征讨刘备，刘备投奔袁绍，甘、糜二夫人及关羽迫降于曹操。曹操赞赏关羽为人和勇武，先后拜其为偏将军和汉寿亭侯，且待之甚厚，并将赤兔马送与关羽，当关羽得知刘备在袁绍军中，并不留恋曹操给予的荣华富贵，即刻封金挂印，千里走单骑，过五关斩六将，与刘、张二人重逢。（见《三国演义》第25回－26回）

例二：华容道义释曹操

赤壁之战，曹操败走华容道，逃亡途中遭遇关羽，哀求关羽以昔日之情为重。关羽则认为过去替曹操斩颜良，诛文丑，解白马之危，已经报答了曹操。面对曹操的求情，不敢以私废公。曹操又以“五关斩将”之事，及信义之德向关羽求情。最终，关羽不顾此前与孔明立下的军令状，于华容道义释曹操。

赤壁一战，曹军大败。曹操领残兵败将往华容道逃命，被关羽拦住去路。曹操哀求关羽看在昔日之情份放他一马。关羽义重如山，想起当日曹操许多恩义与后来五关斩将之事，心中不忍，命众军士四散摆开。曹操便和众将一齐冲将过去。（见《三国演义》第50回）

（三）简述一个体现张飞“勇猛”或“鲁莽”的故事。

例一：张翼德大闹长坂桥（勇猛、粗中有细）

为给兵败势危的刘备赢得喘息之机，张飞当阳长阪板上仅凭身边二十余骑布成疑阵，自己则在大队曹军赶来之时，倒竖虎须，圆睁环眼，紧握蛇矛，稳稳地立马于桥头，用三次大喝，喝破了曹操身边将士夏侯杰的肝胆，当场倒撞马下，并使曹操大惊失色回马而走，刘备得以脱身。（见《三国演义》第42回）

例二：怒鞭督邮（卤莽）

刘备被任命为安喜县尉后，恰逢督邮到来，刘、关、张出城迎接，但督邮却高坐马上，倨傲不还礼。后督邮因索要不到财物，多次羞辱刘备。一日，张飞见百姓为刘备求情而受督邮毒

打，便冲进馆驿绑住督邮用柳条痛打一番，后经刘备劝说才住手。（见《三国演义》第2回）

（四）简述一个体现诸葛亮“智谋过人”的故事。

例一：三气周瑜

周瑜在南郡与曹仁大战中了毒箭，孔明趁机占领南郡、荆州等地，周瑜大怒，伤口破裂；后周瑜设下美人计，孔明将计就计，致使东吴“赔了夫人又折兵”，周羞愧，再次生病；周瑜想用“假途灭虢”之计取荆州，又被孔明识破而兵败，周受此三气而亡。

例二： “赔了夫人又折兵”（第二气）

孙权向刘备讨还荆州遭拒后，周瑜向孙权献上“美人计”；用孙权的妹妹为诱饵，将刘备骗到东吴，逼还荆州。诸葛亮将计就计，让刘备前往，并给了赵云三个锦囊。后刘备一行人按照锦囊中的策划，私会乔国老，智激孙夫人，又再气周瑜，使得东吴“赔了夫人又折兵”。（《三国演义》第54回）

例三：“智杀魏延”

诸葛亮初见魏延之时，便料定魏延会反，于是安排马岱在魏延身边卧底，并于临终之前，给了杨仪一个锦囊，交代其在魏延造反时打开。后来魏延果真造反，杨仪按计行事，让魏延大叫三声“谁敢杀我”，这时马岱应声而出，杀死魏延。（《三国演义》第115回）

例四：“死诸葛吓走活仲达”

自知阳寿之尽的 诸葛亮，交代杨仪在其死后秘不发丧，并后寨先行，缓缓撤退。若司马懿来追，则回旗返鼓。将自己木像，安于车上，推出军前以吓退敌军。后来，事情果然如诸葛亮所料，司马懿见木像以后，狂逃五十里，并几次惊问“我有头否？”（《三国演义》114回）

例五：空城计（参照前面）

例六：草船借箭（参照前面）

（五）简述一个体现曹操“奸雄”特点的故事。

例一：小时候，曹操因顽劣而屡受叔父责骂和投诉，有一回，曹操在叔父经过之时，佯装头到倒地。其叔大惊。赶紧告诉曹操父亲，而曹操却在父亲起来之后做出一副委屈之状。声称叔父诬陷自己，从而使得父亲对叔父失去信任，再也没办法投诉曹操的顽劣。（《三国演义》第1回）

例二：曹操在逃难时遇到了吕伯奢，吕伯奢邀请曹操到家中做客，自己出去打酒。后来曹操听见其家中后院有磨刀声，以为他要杀害自己，便提刀杀死了吕伯奢全家。后来发现是误杀，又将错就错杀死了吕伯奢，发出“宁教我负天下人，不使天下人负我”的感慨。（《三国演义》第4回）

例三：曹操献刀

董卓欺主弄权，曹操借王允七星宝刀进府行刺，见董卓躺下，急抽刀欲刺。董卓在穿衣镜内看见了曹操的动作，转身相问。曹操急中生智说：“我得一口宝刀，欲献恩相。”董卓接刀一看，果然是一口宝刀。董卓引曹操出阁看马，曹操谢道：“愿借马一试。”然后快马加鞭逃之夭夭。

例四：割发代首

曹操征张乡途中，恰逢稻麦成熟，为了显示爱民之心，曹操下令要求众将士不准纵马毁麦。没想禁令刚，曹操自己的马受惊跑入麦田，踏毁麦田。此时，曹操假意要自杀以践军令，后来又在众将的劝说下，割发代首以示众人。曹操自欺欺人的虚伪个性展露无遗。（《三国演义》第17回）

例五：“杨修之死”是曹操阴险毒辣个性的体现。

杨修为人恃才放旷，曾多次触犯曹操之忌：他看出曹操书“活”字于门上是嫌门太阔，看出曹操中杀侍卫是假装的，他参与曹植、曹丕的皇位之争并触怒曹操。最后，杨修在曹操兵驻斜谷时由“鸡肋”号令预知曹操退兵之意，因而让曹操以“扰乱军心”为名杀害。（《三国演义》第72回）

（六）简述一个有关周瑜的故事。

例一：周瑜赤壁之战

例二：群英会蒋干中计

例三：“三气周瑜”

（七）简述《三国演义》中的一个令你难忘的情景。

1、刮骨疗毒

关羽旧时箭伤常在阴天发作。华佗认为应当切开臂膀刮掉渗入毒药，病才能根除。关羽便伸出臂膀让华佗切开。华佗用刀刮骨，悉悉有声。左右掩面失色。关羽却饮酒食肉，谈笑弈棋，神色自若。华佗刮尽其毒，敷上药，以线缝之。关公大笑而起。华佗称赞说：“君侯真天神也!”

2、煮酒论英雄

曹操派人请刘备到小亭煮青梅喝酒。曹操问刘备当世英雄是谁，刘备说了几个人，都被否定。刘备反问曹操，曹操说：“今天下英雄，惟使君与操耳!”刘备惊得手中的筷子掉在地

下。突然天降大雨，雷声大作，刘备说是因为害怕打雷，才掉了筷子。曹操认为刘备胆小如鼠，再也不疑刘备了。

3、空城计

诸葛亮失守街亭。司马懿亲率大军扑来。诸葛亮身边没有作战力量。诸葛亮于是披上一件宽大长衫，戴一顶便帽，登上城楼，凭着楼上栏杆端端正正地坐下，点燃香，安然自得弹起琴来。司马懿来到城下，看不出丝毫破绽。忽然他神色一变，忙下令马上撤退。

4、单刀赴会

鲁肃为夺回荆州，设酒宴招待关羽。席间埋伏刀斧手。关羽早有准备，只带领十几个随从人员，轻驾小舟，单刀赴会，席间，关羽借与鲁肃叙旧为由，拉着鲁肃不放手，实则以鲁肃为人质。埋伏刀斧手见鲁肃被困，未敢轻易下手。关羽安然离去。

三、典故成语

（一）简述《三国演义》中一个有名的典故。

例一：“煮酒论英雄”

刘备寄于曹操篱下，以在后院种菜来掩人耳目。一天，曹操派人请刘备去喝酒，并问刘备当世英雄是谁，刘备说了几个人都被曹操否定。后曹操说：“天下英雄，惟使君与操耳。”刘备吓得把匙箸掉在地下，此时雷声大作，刘备借雷声掩饰自己的吃惊，也使曹操放松警惕。

例二：“身在曹营心在汉”

答案可参照“千里走单骑”《三国演义》

26、27回）

例三：“万事俱备，只欠东风”

赤壁之战前，周瑜安排好火攻的各项事宜，带众将视察江边时，见江上风吹战旗，触动心事，便吐血倒地，诸葛亮闻讯前去探望，并写出“欲破曹公，宜用火攻；万事俱备，只欠东风”，指出周瑜心病。后诸葛亮还设坛祭风，助周瑜完成赤壁火攻。（《三国演义》

48、49回）

其他典故：

大意失荆州（败走麦城）

空城计

过五关斩六将（千里走单骑）

赔了夫人又折兵

（二）列举一个出自《三国演义》的四字格成语，并简述有关这一成语的故事。

例一：“桃园结义”

东汉末年，天下大乱，朝廷下令招兵买马。榜文发到涿县，引出刘备、张飞、关羽，他们聚

在一起各抒己志，谈得十分投机，于是便来到一个桃园，拜告天地，结为兄弟。按年龄刘备为大哥、关羽为二哥，张飞为三弟。三人发誓“同心协力，报效国家”。

例二：“三顾茅庐”

刘备到卧龙冈欲请诸葛亮出山，诸葛亮不在。数日后，刘备冒雪再次来访，却只见到诸葛亮的弟弟。不久，刘备想第三次去请诸葛亮，关、张都不愿意，经刘备开导才一同前往，这次诸葛亮在家睡觉，三人冒着严寒等到诸葛亮睡醒，终于请出诸葛亮。（《三国演义》

37、38回）

例三：“鞠躬尽瘁”

刘备去世后，诸葛亮为完成其遗愿，积极准备北伐魏国。第三次出兵北伐之时，他再次上《后出师表》给刘禅，分析局势、说明蜀魏势不两立、北伐势在必行之后，以“臣鞠躬尽瘁，死而后已”之句作结，表现了诸葛亮誓死为蜀汉的忠贞气节。（《三国演义》第97回）

例四：“乐不思蜀”

刘禅投降后，被安排到洛阳居住，并被封为安乐公。有一次，司马昭请他喝酒，当筵席进行得酒酣耳热时，司马昭故意让蜀地乐人跳蜀国舞，唱蜀国曲，同行的蜀国旧臣都痛哭落泪，只有刘禅嬉笑自若，认为“此间乐，不思蜀”。（《三国演义》第119回）

（三）列举一个出自《三国演义》的歇后语，并简述有关这一歇后语的故事。

例一：“刘备摔阿斗——收买人心”

曹操进攻荆州，刘备带领士兵和百姓南逃，赵云负责保护刘备家小。曹军四下涌来，赵云为保护阿斗，七进起出，终于杀出重围，回到刘备身边。当赵云把阿斗递给刘备时，刘备却把刘禅摔到地上，说：“为汝这儒子，几损我一员大将！”。赵云大为感动，一生尽忠蜀汉。（《三国演义》第41、41回）

例二：“徐庶进曹宫——一言不发”

徐庶曾经辅佐刘备大胜曹操。后来，曹操捉得其母，并伪造徐母亲笔信，将徐庶骗去许昌。徐母得徐庶为尽孝而离开刘备后，痛斥徐庶，并上吊身亡以绝徐庶尽孝之念。从此，身在曹宫的徐庶便践行离别刘备的誓言，终身不为曹操设一谋。（《三国演义》第36、37回）

其他事例如：周瑜打黄盖——一个愿打一个愿挨

篇3：史上最全的半导体材料工艺设备汇总

在半导体制造业中, 组合设备已经被广泛的用来加工晶圆。它是一种集成设备。因此使用组合设备, 可获得一个更具灵活性, 可重构, 非常有效率的加工环境[1,2], 可以带来更高的产量[3], 缩短生产周期[3,4,5], 更好的利用空间[2,5]以及降低生产成本[5]。由于空间的限制, 一台组合设备由几个加工模块 (processing module, PM) 、一个传输模块 (transport module, TM, 机械手) 和两个真空锁 (loadlocks) 组成。带单只机械手的叫单臂组合设备, 带双只机械手的叫双臂组合设备, 如图1所示。当组合设备运行时, 机械手将待加工的晶圆从真空锁卸载下来, 按照已知的加工工艺依次送到一个或多个加工模块, 最后将完成所有加工工序的晶圆送回真空锁中[6]。由于组合设备有两个真空锁, 当一个真空锁中的一批晶圆加工完后, 系统开始加工另一个真空锁中的晶圆, 这样真空锁可以连续不断地向系统载入晶圆, 使得系统绝大多数情况下处于稳定的运行状态。

为了调度组合设备, 许多学者已经在对系统建模与系统执行过程评估方面做了大量的工作[7,8,9]。文献[10]指出, 交换策略可以有效的简化机械手的任务, 从而减小系统的生产周期。

但在实际生产中, 晶圆加工过程经常需要重入加工, 例如原子层沉积工艺 (atomic layer depo⁃sition, ALD) 。文献[11]指出, 晶圆需要在某些加工步骤中加工多次, 这使得晶圆需要多次由该加工步骤加工。文献[12]给出了寻找最优调度的一个算法, 此算法由解析表达式组成, 因此非常有效。对于具有重入加工工艺的双臂组合设备, 文献[13]提出了3-晶圆周期性调度方法。为了改善系统的运行过程及降低生产周期, 文献[14]提出了2-晶圆周期性调度方法, 并证明在一些条件下2-晶圆周期性调度方法优于3-晶圆周期性调度。

然而, 文献[13]假设在局部循环中, 最后一步是局部循环的瓶颈工序, 并没有指出当其他加工模块是瓶颈工序时系统的生产周期是多少。同时文献[14]也没有给出当不能比较2-晶圆周期性调度方法与3-晶圆周期性调度方法时的调度系统优劣性。基于以上疑问, 本文基于3-晶圆周期性调度方法, 分析了一般情形下具有重入加工工艺的双臂组合设备的生产周期, 并通过仿真的方法判断在任何条件下2-晶圆周期性调度方法与3-晶圆周期性调度方法的优劣。这对实际的生产系统是非常有意义的。

1 3-晶圆周期调度方法

为了调度具有重入加工工艺的双臂组合设备, 首先需要描述机械手的动作。其发生的事件描述如下。用mij表示机械手从PMi移动到PMj。用mLi表示机械手从真空锁移动到PMi。用mi L表示机械手从PMi移动到真空锁。符号l表示机械手的载入动作。符号unl表示机械手的卸载动作。si表示机械手在PMi处做一次交换 (Swap, 即卸载→旋转→载入) 。这些符号总结在表1中。除此之外, 还需要描述系统的动态运行过程。这样, 令Γi={Wd (q) }, iÎN3表示在加工模块PMi中的晶圆, Wd (q) 表示了第d个晶圆正在加工第q道工序。Γ4={Wd (q) }表示了第d个晶圆在机械手上准备加工第q道工序。这样, 可以用M={Γ1, Γ2, Γ3, Γ4}表示系统的状态。例如M={W3 (1) , W2 (2) , W1 (3) , W4 (1) }表示第一、二和三枚晶圆分别在加工模块PM3、PM2和PM1中加工其第3道、第2道和第1道工序。同时, 第4枚晶圆在机械手上准备加工第一道工序。由于第一道工序必须在加工模块PM1中进行, 意味着机械手在加工模块PM1旁等待。由此, 可以通过状态的变化描述系统的动态特性。

不失一般性, 假设系统的稳态周期性调度从状态M1={W3 (1) , W2 (2) , W1 (3) , W4 (1) }开始, 然后系统的状态如下:M1→M2={W4 (1) , W3 (2) , W1 (3) , W2 (3) }→M3={W4 (1) , W1 (4) , W2 (3) , W3 (3) }→M4={W4 (1) , W2 (4) , W3 (3) , W1 (5) }→M5={W4 (1) , W3 (4) , W1 (5) , W2 (5) }→M6={W4 (1) , W3 (4) , W2 (5) , W5 (1) }→M7={W5 (1) , W4 (2) , W3 (5) , W6 (1) }→M8={W6 (1) , W5 (2) , W4 (3) , W7 (1) }→M9={W7 (1) , W6 (2) , W4 (3) , W5 (3) }。可以看到, 状态M1和M8是等同的, 因此, 通过M1到M8形成一个周期。对于上述系统动态运行, 从M1到M2、M8到M9, 机械手执行顺序为σ1={s1→m12→s2→m23}。从M2到M3, σ2={s3→m32→s2→m23}。从M3到M4、M4到M5重复执行σ2。σ2形成一个循环叫做局部循环。σ3={s3→m3L→l→unl→mL1}使得M5到达M6。σ4={s1→m12→s2→m23→s3→m3L→mL1}使得M6到达M7、M7到达M8。σ4形成以一个循环叫做全局循环。σ1与σ3之叠加和σ4相同。因此, 从M2至M9有三个局部循环和三个全局循环, 构成一个周期。在这个周期中, 三个晶圆完成。因此, 这是一个叫作3-晶圆周期性调度方法。同时每个机械手的动作所花费的时间见表1。

从表1以及机械手的运行过程, 不考虑机械手的等待时间, 可以得到机械走完全局循环所用的时间为ψ1=α+β+3λ+4μ, 机械手走完局部循环所用的时间为ψ2=2λ+2μ。同时用Πi=Ai+λ表示在第i个加工模块完成一个晶圆所需的时间。用ωijL表示机械手在第j次局部循环, 第i个加工模块等待, 用ωijG表示机械手在第j次全局循环, 第i个加工模块等待。令Πlo cal=max{Π2, Π3, ψ2}, 并令ΠCT表示系统的生产周期, ΠL=max{Π2, Π3}。因为当Π1>3Πlo cal+ψ1时, 可知系统的生产周期为Π1。根据文献[13], 本文给出了当时, 系统生产周期的计算表达式。

引理3.1:基于3-晶圆调度策略的带重入加工工艺的双臂组合设备, 如果, 并且ψ1>ΠL, 那么系统的生产周期为

引理3.2:基于3-晶圆调度策略的带重入加工工艺的双臂组合设备, 如果, 并且ψ1>ΠL, 那么系统的生产周期为

引理3.3:基于3-晶圆调度策略的带重入加工工艺的双臂组合设备, 如果, χ=Π1-ΠL, 那么系统的生产周期为

2 2-晶圆周期调度方法

当ΠL-ψ1<2χ, 3-晶圆的调度方法可能不是最优调度[13]。因此, 文献[14]提出了2-晶圆的周期性调度方法以缩短系统的生产周期。由于在条件Π3>Π2与Π3<Π2下, 2-晶圆调度策略有明显的不同, 所以分为Π3>Π2与Π3<Π2两种情况来讨论。

调度1:假设Π3>Π2且, 在此条件下运用2-晶圆调度方法, 系统的状态变化过程如下:M1= ({W4 (1) }, {W3 (2) }, {W2 (5) }, {W5 (1) }) →M2= ({W5 (1) }, {W4 (2) }, {W3 (3) }, {}) →M3= ({W5 (1) }, {W4 (4) }, {W3 (5) }, {}) →M4= ({W5 (1) }, {W4 (4) }, {W3 (5) }, {W6 (1) }) →M5= ({W6 (1) }, {W5 (4) }, {W4 (5) }, {W7 (1) }) →M6= ({W7 (1) }, {W6 (2) }, {W5 (3) }, {}) .“{}”表示机械手为空。可以看到, 状态M1和M5是等同的。这样M1到M5形成一个周期。对于上述系统动态运行, 从M1到M2, 机械手的运行顺序σ1={s1→m12→s2→m23→s3→m3L→l}, 此过程花费的时间为3λ+3μ+β。从M2到M3, σ2={mL2→unl→m23→s3→m32→l→waiting at PM2→unl→m23→s3→m32→l}, 这个过程形成了两个局部循环。σ3={m2L→unl→mL1}使得M3到达M4, 花费的时间为2μ+α。σ4={s1→m12→s2→m23→s3→m3L→l→unl→mL1}使得标识从M4到达M5。σ5={s1→m12→s2→m23→s3→m3L→l}使得M5到达M6, 时间花费与σ1一样。注意到σ3和σ5组成了一个全局循环。因此σ3, σ4, 和σ5组成了两个全局循环。所以可以得到从σ2到σ5包含2个局部循环和2个全局循环, 并且有两个晶圆加工完成, 称这种调度方法为2-wafer调度方法。

调度2:假设Π2>Π3且, 此时系统演变过程如下:M7= ({W4 (1) }, {W3 (2) }, {W2 (5) }, {W5 (1) }) →M8= ({W5 (1) }, {W4 (2) }, {W3 (3) }, {}) →M9= ({W5 (1) }, {W4 (4) }, {W3 (5) }, {}) →M10= ({W5 (1) }, {W4 (4) }, {W3 (5) }, {W6 (1) }) →M11= ({W6 (1) }, {W5 (4) }, {W4 (5) }, {W7 (1) }) →M12= ({W7 (1) }, {W6 (2) }, {W5 (3) }, {}) 。从系统的状态变化过程可以看到, 标识M1和M5是等同的。这样从M1到M5形成一个周期。对于上述系统动态运行, 从M7到M8, σ7=σ1。从M8到M9, σ2={mL3→unl→m32→s2→m23→l→waiting at PM3→unl→m32→s2→m23→l}, 这个过程形成了两个局部循环。σ9=σ3使得M9到达M10。σ10=σ4使得M10到达M11。σ11=σ1使得M11到达M12。注意到调度2与调度1的区别在于σ2和σ8。和调度1类似, σ9和σ10组成了一个全局循环。σ9, σ10和σ11组成了两个全局循环。所以可以得到从σ8到σ11包含2个局部循环和2个全局循环, 并且也有两个晶圆加工完成。

类似于3-晶圆调度方法, 两个局部循环所花的时间为Πlo cal, 这样很明显, 当时, 晶圆W6 (1) 在标识M4 (调度1) , 或者在标识M10 (调度2) 中可不需任何等待时间就可以被机械手载入到加工模块PM1中。而在实际生产中, 条件总是满足的。

当Π3>Π2而A3Π3而A2

令Ti表示仿真时间钟, 初始时刻为T0=0。基于尽早加工策略, 有对具有重入加工工艺的双臂组合设备的仿真程序如下。

调度算法1:当Π3>Π2, 基于调度1, 系统的仿真算法如下:

1) T1=μ+β;m12→l (机械手将晶圆W1 (2) 载入到PM2)

2) T2=μ+α+μ;m2L→unl→mL1

3) T3=max{A1– (T1+T2) , 0};在PM1处等待

4) T4=λ;s1 (机械手在PM1处做一次交换并将晶圆W3 (1) 载入到PM1)

5) T5=μ;m12

6) T6=max{A2– (T2+T3+T4+T5) , 0};在PM2处等待

7) T7=λ;s2 (机械手在PM2处做一次交换并将晶圆W2 (2) 载入到PM2)

8) T8=μ+β;m23→l (机械手将晶圆W1 (3) 载入到PM3) , 此时系统的状态 ({W3 (1) }, {W2 (2) }, {W1 (3) }, {})

9) T9=μ;m32

10) T10=max{A2– (T8+T9) , 0};在PM2处等待

11) T11=α+μ;unl→m23

12) T12=max{A3– (T9+T10+T11) , 0};在PM3处等待

13) i=0

15) T13+i=λ;s3 (机械手在PM3处做一次交换并将晶圆W2 (3) 载入到PM3)

16) T14+i=μ+β;l (机械手将晶圆W1 (4) 载入到PM2)

17) T15+i=A2;在PM2处等待

18) T16+i=α+μ;unl→m23

19) T17+i=max{A3- (T14+i+T15+i+T16+i) , 0};在PM3处等待

20) T18+i=λ;s3 (机械手在PM3处做一次交换并将晶圆W1 (5) 载入到PM3)

21) T19+i=μ+β;l{W2 (4) }——此时系统的状态 ({W3 (1) }, {W2 (4) }, {W1 (5) }, {})

22) T20+i=μ+α+μ+λ;m2L→unl→mL1→s1 (机械手在PM1处做一次交换并将晶圆W4 (1) 载入到PM1)

23) T21+i=μ;m12

24) T22+i=max{A2- (T20+i+T21+i) , 0};在PM2处等待

25) T23+i=λ;s2 (机械手在PM2处做一次交换并将晶圆W3 (2) 载入到PM2)

26) T24+i=μ;m23

27) T25+i=max{A3- (T19+i+T20+i+T21+i+T22+i+T23+i+T24+i) , 0};在PM3处等待

28) T26+i=λ;s3 (机械手在PM3处做一次交换并将晶圆W2 (5) 载入到PM3)

29) T27+i=μ+β+α+μ;m3L→l→unl→mL1

30) T28+i=max{A1- (T21+i+T22+i+T23+i+T24+i+T25+i+T26+i+T27+i) , 0};在PM1处等待

31) T29+i=λ;s1 (机械手在PM1处做一次交换并将晶圆W5 (1) 载入到PM1)

32) T30+i=μ;m12

33) T31+i=max{A2- (T24+i+T25+i+T26+i+T27+i+T28+i+T29+i+T30+i) , 0};在PM2处等待

34) T32+i=λ;s2 (机械手在PM2处做一次交换并将晶圆W4 (2) 载入到PM2)

35) T33+i=μ;m23

36) T34+i=max{A3- (T27+i+T28+i+T29+i+T30+i+T31+i+T32+i+T33+i) , 0};在PM3处等待

37) T35+i=λ; (机械手在PM2处做一次交换并将晶圆W3 (3) 载入到PM3)

38) T36+i=μ+β;m3L→l——此时系统的状态 ({W5 (1) }, {W4 (2) }, {W3 (3) }, {})

39) T37+i=μ;mL2

40) T38+i=max{A2- (T33+i+T34+i+T35+i+T36+i+T37+i) , 0};在PM2处等待

41) T37+i=α+μ;unl→m23

42) T40+i=max{A3- (T36+i+T37+i+T38+i+T39+i) , 0};在PM3处等待

43) i=i+1;

在此算法中, 系统从状态 ({W2 (1) }, {}, {}, {W1 (2) }) 开始运行, 并且系统执行了5个生产周期, 通过5个生产周期可以看出系统的动态运行过程。同时, 系统的生产节拍为

调度算法2:当Π2>Π3, 基于调度2, 系统的仿真算法如下:

1) T1=μ+β;m12→l (机械手将晶圆W1 (2) 载入到PM2)

2) T2=μ+α+μ;m2L→unl→mL1

3) T3=max{A1- (T1+T2) , 0;在PM1处等待

4) T4=λ;s1 (机械手在PM1处做一次交换并将晶圆W3 (1) 载入到PM1)

5) T5=μ;m12

6) T6=max{A2- (T2+T3+T4+T5) , 0};在PM2处等待

7) T7=λ;s2 (机械手在PM2处做一次交换并将晶圆W2 (2) 载入到PM2)

8) T8=μ+β;m23→l (机械手将晶圆W1 (3) 载入到PM3) , 此时系统的状态 ({W3 (1) }, {W2 (2) }, {W1 (3) }, {})

9) T9=A3;在PM3处等待

10) T10=α+μ;unl→m32

11) T11=max{A2- (T8+T9+T10) , 0};在PM2处等待

12) i=0

14) T12+i=λ;s2 (机械手在PM2处做一次交换并将晶圆W1 (4) 载入到PM2)

15) T13+i=μ+β;m23→l{W2 (3) }

16) T14+i=A3;在PM3处等待

17) T15+i=α+μ;unl→m32

18) T16+i=max{A2- (T13+i+T14+i+T15+i) , 0};在PM2处等待

19) T17+i=λ;s2 (机械手在PM2处做一次交换并将晶圆W2 (4) 载入到PM2)

20) T18+i=μ+β;m23→l{W1 (5) }——此时系统的状态 ({W3 (1) }, {W2 (4) }, {W1 (5) }, {})

21) T19+i=μ+α+μ+λ;m3L→unl→mL1→s1 (机械手在PM1处做一次交换并将晶圆W4 (1) 载入到PM1)

22) T20+i=μ;m12

23) T21+i=max{A2- (T18+i+T19+i+T20+i) , 0};在PM2处等待

24) T22+i=λ;s2 (机械手在PM2处做一次交换并将晶圆W3 (2) 载入到PM2)

25) T23+i=μ;m23

26) T24+i=max{A3- (T19+i+T20+i+T21+i+T22+i+T23+i) , 0};在PM3处等待

27) T25+i=λ;s3 (机械手在PM3处做一次交换并将晶圆W2 (5) 载入到PM3)

28) T26+i=μ+β+α+μ;m3L→l→unl→mL1

29) T27+i=max{A1- (T20+i+T21+i+T22+i+T23+i+T24+i+T25+i+T26+i) , 0};在PM1处等待

30) T28+i=λ;s1 (机械手在PM1处做一次交换并将晶圆W5 (1) 载入到PM1)

31) T29+i=μ;m12

32) T30+i=max{A2- (T23+i+T24+i+T25+i+T26+i+T27+i+T28+i+T29+i) , 0};在PM2处等待

33) T31+i=λ;s2 (机械手在PM2处做一次交换并将晶圆W4 (2) 载入到PM2)

34) T32+i=μ;m23

35) T33+i=max{A3– (T26+i+T27+i+T28+i+T29+i+T30+i+T31+i+T32+i) , 0};在PM3处等待

36) T34+i=λ;s3 (机械手在PM3处做一次交换并将晶圆W3 (3) 载入到PM3)

37) T35+i=μ+β;m3L→l——此时系统的状态 ({W5 (1) }, {W4 (2) }, {W3 (3) }, {})

38) T36+i=μ;mL3

39) T37+i=max{A3- (T35+i+T36+i) , 0};在PM3处等待

40) T38+i=α+μ;unl→m32

41) T39+i=max{A2- (T32+i+T33+i+T34+i+T35+i+T36+i+T37+i+T38+i) , 0};在PM2处等待

42) i=i+1;

在此算法中, 系统从状态 ({W2 (1) }, {}, {}, {W1 (2) }) 开始运行, 并且系统执行了5个生产周期, 通过5个生产周期可以看出系统的动态运行过程。同时, 系统的生产节拍为

3 实例分析

实例1:假设工序1加工时间A1为90 s, 工序2的加工时间A2为50 s, 工序3加工时间A3为60s。另外机械手的卸载时间、装载时间和移动时间相等, 且α=β=μ=5s。机械手执行交换的时间为13 s, 即λ=13s。

由以上工艺参数可知Π3=73s>Π2=63s, 那么选择2-晶圆调度中的调度算法1进行调度该系统。可得系统的生产节拍为ΠCT= (166+1/2) s。如果采用3-晶圆调度策略, 基于引理3.3可以得到系统的生产周期为ΠCT= (164+2/3) s可知3-晶圆调度策略要比2-晶圆调度策略在此条件下优越。

实例2:假设工序1加工时间A1为90 s, 工序2的加工时间A2为80 s, 工序3加工时间A3为70 s。另外机械手的卸载时间、装载时间和移动时间相等, 且α=β=μ=5s。机械手执行交换的时间为13 s, 即λ=13s。

由以上工艺参数可知Π2=93>Π3=83, 那么选择2-晶圆调度中的调度算法2进行调度该系统, 可得系统的生产节拍为ΠCT=200s。如果采用3-晶圆调度策略, 基于引理3.3可得到系统周期为ΠCT=186s。可知在此条件下3-晶圆调度策略要比2-晶圆优越。

4 结束语